热化学气相沉积——让材料制备更高效 热化学气相沉积（Hot Chemical Vapor Deposition，HCVD）是一种利用热化学反应在高温下制备材料的方法。它具有高效、高纯、高质、低成本等优点，被广泛应用于制备各种材料，如金属、半导体、陶瓷、生物材料等。下面将从多个方面详细阐述HCVD的原理、特点、应用等内容。 一、HCVD的原理与特点 1.1 原理 HCVD是一种热化学反应，在高温下通过气相反应制备材料。其原理是将含有反应物的气体进入反应室，经过加热后，在催化剂的作用下，发生热化学